陶瓷片研磨机

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陶瓷双端面研磨盘

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FD7004PA硅片研磨机主要用途：本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延片、硅片、陶瓷、石英晶体、其他半导体材料等薄形精密零件的单面高精密研磨及抛光。设备特减薄抛光(CMP)工艺.pdf,五、操作步骤：A：上蜡工艺步骤(CMPwaxbonding)1:打开加热台设定熔蜡温度2:打开上蜡机，调整好压力大小及时间设定3:在片子上取样N个点测量原始厚度4:把片子放在熔蜡后的陶瓷盘上，均匀地赶走气泡后进行上蜡压片。.(事先轻轻均匀地赶走气研磨和抛光有什么不同？百度知道,1、研磨：利用涂敷或压嵌在研具上的磨料颗粒，通过研具与工件在一定压力下的相对运动对加工表面

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